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科晶单温区CVD真空管式炉

简要描述:科晶单温区CVD真空管式炉是一款炉管内径为6″的真空管式炉,可以在不同气氛下,在Z大5″的基片上生长多种薄膜。

  • 产品型号:GSL-1100X-6-S
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-12
  • 访  问  量:144

详细介绍

产品型号

 科晶单温区CVD真空管式炉

主要特点

  1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能壳体温度<70℃。

  2采用不锈钢真空密封法兰,使用双硅胶密封圈进行密封

  3设有K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

  4采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

  5已通过CE认证。

科晶单温区CVD真空管式炉技术参数

  1电源:AC 220V  8KW

  2、石英管:内径Φ152mm,长1016mm

  3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

  4、加热区域:600mm

  5恒温区域200mm

  6工作温度:zui高1100连续工作400-1000

  7、zui大升降温速率:10/min

  8热电偶:双K

  9、控温精度:±1

  10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

  11、铠装热偶检测口:1

  12、真空接口:KF40

产品规格

  尺寸:1000mm×680mm×920mm重量:250kg

标准配件

1

  石英管

1

2

  氧化铝管堵

2

可选配件

  1软件接口模块和PC

  2、石英管

  3、石英管堵

  4K型热电偶(Φ6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

  5、真空泵



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